攜手艾司摩爾 台積電推12吋光罩
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〔記者林薏茹/台北報導〕晶圓代工龍頭台積電(2330)與艾司摩爾(ASML)昨宣布,將共同推動半導體產業由現行6吋光罩升級至12吋光罩,目標在2031年前建立12吋光罩試產線,並於2033年前實現微影系統全面就緒,以支援先進製程量產。英特爾與三星隨後也表態,將參與艾司摩爾下一代12吋光罩技術。 台…
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- 中央社台積電攜ASML推進12吋光罩 2031年建試產線攻先進製程
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- 新頭殼台積電High NA EUV邁大步!攜ASML推12吋光罩、擬2030年導入量產
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- ETtoday新聞雲台積電、ASML攜手推12吋High NA EUV光罩 2031年前建試產線
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