英特爾晶圓代工與ASML攜手合作 加速產業運用High-NA EUV

本周於SPIE光罩技術暨極紫外光微影研討會（SPIE）上，英特爾晶圓代工與ASML分享將高數值孔徑極紫外光（HighNAEUV）微影技術持續導入生產，雙方並宣布將攜手合作，加速產業運用High-NA...