天虹與台積電先進製程實驗室啟用　開發鍍膜設備等3大技術

（中央社記者張建中台北1日電）半導體設備廠天虹科技今天宣布，與晶圓代工廠台積電合作的先進製程實驗室開幕啟用，將聚焦先進製程鍍膜設備、膜質改善技術及前驅物篩選與驗證3大領域研究與開發。